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随着纳米技术的不断发展,高精密的定位精度已从毫米(mm)级、微米(μm)级向纳米(nm)级发展,微机器人、MEMS系统、光学精密工程、航空航天及生物医疗等高精密领域,迫切需要多尺度、多自由度、nm级定位精度、毫秒(ms)级定位速度的微/纳米级定位系统。传统的机械式定位系统,由于存在机械间隙、摩擦,定位精度最高为2μm。压电陶瓷驱动的定位系统不仅具有nm级定位精度、ms级定位速度,且结构紧凑、易于控制,已成为国内外的研究热点,美国、日本、德国等发达国家对其进行了深入的研究,但其定位行程局限于μm级。因