在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套完备而简捷的弹性反冲探测分析(ERDA)系统.该系统利用HI-13串列加速器提供的高品质的重离子束轰击薄膜或块材靶样品,用△E-E望远镜探测器,在前角区测量了靶材料中各种元素的反冲能谱.利用包含卢瑟福散射截面和离子在靶材料中的阻止本领的分析程序SIMNRA,将能谱转换为元素的深度分布,从而实现高精度的深度分布测量.利用该系统,对薄膜和块材料同时进行多元素成分深度分布分析.在从轻元素H到中重元素K的很大范围内,用纵向型双电离室望远镜探测器同时得到各种元素30纳米左右的深度分辨谱.应用以上技术测量了SiC:H薄膜、有机膜、SiN:H薄膜、SiO<,2>靶、LaBaCuO超导膜、GaN靶CHN/Si靶等多种样品的成分及杂质的深度分布.进行数据获取和数据分析处理时,考虑到H元素因在气体电离室中的能损很小,淹没在噪声中,无法得到△E和E<,r>的符合谱.在离线数据分析处理时,H元素的能谱则直接由E<,r>的不符合谱得到.这种获取方法克服了H元素能谱因取不到△E信号而不能得到H元素能谱的困难.