摘要：飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低及能够实现真正的三维微结构加工等传统加工技术无法取代的优点,目前,已广泛应用于各个领域的微纳加工。由于飞秒激光直接聚焦的焦场能量分布较为单一,无法适应多变的实际加工需求,限制了飞秒激光加工的加工能力和加工效率。本文主要围绕飞秒激光加工中的焦场纵横比控制方法展开研究,理论计算了各种焦场控制纵横比控制方法的主要参数,通过实验验证了理论结果的可行性和适用性,分别结合狭缝和光阑的焦场控制方法加工了大深径比金属微孔和圆形截面波导,论文全文的主要研究内容如下：1.分析了飞秒激光聚焦焦场的能量分布,提出了以纵横比衡量加工截面的方法,并研究了焦场能量分布与加工纵横比之间的相互关系。2.分析了四种焦场纵横比控制方法的主要参数对加工结果的影响,进一步建立的两者之间的数值关系模型,并通过实验对理论计算进行了验证。3.开展了金属深孔加工的实验研究,分析了大深径比金属微孔加工中的限制因素,提出了插入光阑改变焦场能量分布的方法,并在实验中结合光阑孔径的选择实现了深径比为20金属微孔的加工。4.进行了圆形截面波导加工的实验研究,分析了纵向直写和横向直写两种加工方式对波导加工截面形状的影响,理论计算了插入狭缝的宽度和波导截面的数值关系,并对采用狭缝加工出的光波导进行了性能的测试和分析。