PDMS基微透镜阵列的设计、制造和表征

来源 :电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yzl417801753

【摘要】

：

微机电系统发展的一大趋势是与光学相结合形成微光机电系统,而微光机电系统的发展离不开微小光学的支撑。微透镜阵列作为微小光学元件的重要组成部分在成像、传感、点光源器件和光学互联等方面已经变得不可或缺。PDMS基磁流变弹性体薄膜是将纳米磁性颗粒混入PDMS基体中并采用特殊的方法制作成的一种具有微米级厚度的光学薄膜。本课题组已经制备并测试过这种薄膜其结果表明在外磁场的作用下该薄膜的光学特性将会发生改变。基

【作者】

：

王松

【出处】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2020年01期

【关键词】

：

PDMS 机械挠曲液面形貌微透镜阵列磁响应

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