径向剪切干涉波前检测技术研究

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随着激光技术和现代光学加工技术的飞速发展,光学元件面形检测和波前畸变检测对光学检测技术的要求不断提高,检测系统结构也趋于复杂化。由于光学元件加工和波前畸变测量的特殊性,传统的光学检测技术已经不能满足检测精度的要求。传统光学检测方法需要标准参考面、精度低、检测周期长、难以用于现场测量等缺点,而径向剪切干涉波前检测技术能够很好的解决传统光学检测方法中存在的问题,它能实现对任意面形的高精度、静态和瞬态实时测量,指导光学元件加工和波前畸变的控制。本论对径向剪切干涉波前检测技术进行了研究,并结合实际的非球面检测进行了仿真验证和分析,主要研究内容如下:(1)基于径向剪切干涉原理,设计了径向剪切干涉仿真程序,研究了径向剪切比对径向剪切干涉的影响和径向剪切干涉图的预处理方法。(2)基于Zernike多项式,研究了最小二乘法、Gram-Schimdt正交法以及Householder变换法的波面拟合,分析了拟合精度,并从径向剪切干涉图中拟合出了被测波面的径向剪切干涉波面。结果表明Householder变换法的拟合精度高于前两种方法。(3)基于被测波面和径向剪切干涉波面之间的关系,推导了复原被测波面的迭代公式,仿真了不同PV值的波面迭代复原,并分析了迭代精度,仿真了径向剪切干涉波前重构。结果表明迭代算法的重构精度能够达到径向剪切干涉波前检测技术的要求。(4)基于补偿器检测非球面的方法,设计了径向剪切干涉波前检测系统,仿真了非球面的检测,分析了检测精度和误差来源,针对系统误差提出了消除或者抑制的方法。结果表明检测精度高于传统的光学测量方法。
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