半导体集成电路行业直接影响着一个国家的整体科技水平。集成电路的生产需要真空环境,而真空环境获得的设备各式多样,作为真空获得设备的真空泵以抽速高、振动小、易操作、运行稳定可靠等优良性能越来越多的应用在真空获得场合。随着高新技术产业的快速发展,真空泵设备的研发设计也得到了相应的重视。作为真空泵动力来源的驱动电机直接影响着真空泵的抽速、极限真空和振动噪声等性能。真空泵的性能直接影响半导体产品生产的质量,而电机的性能将直接影响真空泵的性能。目前工业领域驱动电机以异步电机与永磁电机为主,但分别存在效率低与稀土材料依赖等问题,而永磁辅助式同步磁阻电机同时拥有永磁电机与磁阻电机的特点,不仅力能指标高,还可以在宽范围内进行调速,符合真空泵用驱动电机的要求,具有很高的性价比。本文介绍了真空泵用永磁辅助式同步磁阻电动机设计与分析。主要内容有:首先,介绍了真空泵用永磁辅助式同步磁阻电动机的电磁设计方案,通过对比确定了电机定子绕线方式与电机的极数。结合工程实际优选了电机永磁体的材料为铁氧体,对电机转子的磁障结构进行分析设计,通过对所设计的电机进行有限元计算,得到电机的各项参数,验证了电机设计的理论合理性。其次,分析计算了电机的各项损耗。通过在某商业软件中建模,分析得到了电机转子与定子的铁耗;考虑高频时电机绕组导线集肤效应与邻近效应计算了电机的高频铜耗;电机采用铁氧体作为转子永磁体时,在高频交变磁场的作用下,永磁体上所产生的涡流损耗;以及电机的机械损耗。通过对电机各个损耗的全面计算分析,得到了电机的力能指标,验证电机的高效性。然后,基于传热基本理论对电机温度场进行了求解,得出电机整体与各部件的温升结果,仿真结果表明电机各部件温度分布合理。通过对电机冷却水道通水量的对比,确定电机的最优通水量;以及分析冷却水道尺寸对电机整体温升的影响,得出最优冷却水道尺寸,确定了电机最优的冷却系统。最后,进行有限元计算分析电机转子机械强度,观察电机达到热稳定后转子受力与形变的情况。通过电机应力仿真结果分析得到电机的应力分布与电机转子所发生形变的大小,对比分析转子磁障中有无填充物对电机转子受力的影响;以及磁障桥壁厚度对转子最大应力的影响,分析出最合理的磁障桥壁厚度。