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采用溶胶-凝胶法制备PbZr0.4Ti0.6O3(PZT)铁电薄膜,磁控溅射法生长FePt、Pt等电极材料,架构了不同衬底和不同电极的PZT电容器。采用磁控溅射法生长阻挡层材料,制备FePt/PZT铁电铁磁异质结薄膜。利用X射线衍射仪对样品进行结构测试,利用铁电测试仪(Precision LC Unit)测试样品的铁电性能,LCR测试仪测试介电常数,Keithley数字源表测试漏电流,振动样品磁强计(VSM)测试铁磁性能。具体为:研究了衬底对PZT铁电电容器结构和铁电性能的影响。实验发现