微波功率均衡器主要应用于微波功)。微波率模块(MPM功率模块作为新一代的电子微波功率器件,结合了固态放大器件与电真空放大器件两者的技术优势,在下一代电子战系统中将会得到越来越广泛的应用,同时对MPM中的功率均衡器件提出更加苛刻的要求:微波功率均衡器不仅要在均衡精度、高可靠性满足设计要求,同时更加趋向于小型化、高集成度、易调谐性的应用特征。本论文针对新一代微波功率均衡器件具有的小型化、高集成、易调谐的应用特征,对基于LTCC工艺的基片集成波导谐振腔进行深化研究,提出了增感型基片集成波导陷波单元、增容型基片集成波导陷波单元与双折叠型基片集成波导陷波单元的微波功率均衡结构,并给出了详细的理论分析与仿真验证。尤其是基于LTCC技术的增感型基片集成波导陷波单元的提出,不仅结合了传统平面微带结构的小体积、易集成与传统立体波导、同轴结构的高Q值的双重优势,并在可调谐性与集成灵活度上相比前者具有更大的优越性。随后设计完成了11.5-15GHz增感型基片集成波导LTCC功率均衡器、6-18GHz基片集成波导与阶跃阻抗复合型LTCC功率均衡器、6-18GHz阶跃阻抗陶瓷功率均衡器的研制,测试结果与仿真结果高度吻合。最后研制了6-18GHz固态驱动模块,测试结果达到项目要求,验证了LTCC微波功率均衡器的可行性。