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以碳酸铈为前驱体，碳酸镧和碳酸镨为掺杂试剂，氟化铵为氟化剂制备铈基抛光粉，对铈基抛光粉进行以下几个方面的深入研究。 采用TG-DTA研究了碳酸铈、碳酸镧和碳酸镨的氟化过程和热分解过程，采用XRD研究了其热分解后的产物的物相结构。结果表明在氟化过程中碳酸铈和碳酸镨比碳酸镧更容易氟化且F的引入使碳酸铈和碳酸镨的热分解过程发生显著变化;掺氟碳酸铈热分解后的产物仍保持CeO2立方萤石结构，掺氟碳酸镧热分解后产物为La2O3和LaOF的混合体，掺氟碳酸镨热分解后产物为PrOF。 采用XRD、SEM、Raman光谱和Zeta电位分析研究了F/La/Pr掺杂对铈基抛光粉物相结构、颗粒形貌、颗粒表面Zeta电位和抛蚀量的影响，结果表明，F的引入可以显著地减小铈基抛光粉的晶粒尺寸、增大其晶格缺陷和颗粒表面Zeta电位，且La-Pr共掺杂比掺La对增大其晶格缺陷和颗粒表面Zeta电位影响更大。SEM分析表明，F的引入有利于颗粒的球形化，掺入La或Pr有利于改善颗粒的聚集状态。抛光测试分析，抛蚀量的大小与相应铈基抛光粉的颗粒表面Zeta电位和晶格缺陷成正比。 采用分光光度计、XRD、IR和TG-DTA分别研究了铈基抛光浆料的悬浮分散稳定性和分散剂与抛光粒子间的相互作用，结果表明聚丙烯酸为铈基抛光浆料的最佳分散剂，改性过程中分散剂仅吸附在铈基抛光粉粒子的表面，对铈基抛光粉粒子的晶体结构不产生变化。