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当前无线通信系统正向高工作频率、大数据传输量、多信道和小信道带宽的方向发展,无线通信终端也日趋微型化、集成化和多功能化。这些发展趋势对通信系统中的频率器件提出了更高的要求,当前的滤波器需要具有高工作频率、窄带宽、可片内集成、低功耗和大功率容量等特性。传统用于无线通信的带通滤波器以介质陶瓷滤波器和声表面波滤波器为主,他们因为体积大或工作频率低等因素已经不能满足需要。基于微机械电子系统的薄膜体声波器件可以很好的解决传统带通滤波器所面临的问题。其中,晶体叠层型薄膜体声波滤波器与梯型、格型及耦合谐振型滤波器相比具有带外抑制特性好、插入损耗低及通带宽度窄等优点,因此,晶体叠层型薄膜体声波滤波器受到全世界范围内研究人员的关注,国外已经有商用的体声波滤波器。由于晶体叠层型薄膜体声波滤波器相对薄膜体声波谐振器其结构和原理更为复杂,其性能同时受到两个压电层影响,国内只有很少的研究机构对晶体叠层型薄膜体声波滤波器进行研究。基于以上的研究意义及现状,本文对晶体叠层型薄膜体声波滤波器进行研究。本文的主要研究内容分为以下五个部分。第一部分,对晶体叠层型薄膜体声波谐振器、滤波器的基本概念和结构进行简要介绍,并分析了国内外体声波谐振器及滤波器的研究现状。第二部分,对晶体叠层型薄膜体声波滤波器的原理进行阐述,推导了基于压电学中单层压电振子的一维Mason等效模型并推导出SCFBAF的等效电路,得出SCFBAF的电压传递函数。第三部分,讨论了选择SCFBAF材料时需要考虑的因素,并对几种适用于SCFBAF的压电材料及电极材料进行比较。第四部分,是本文的核心工作部分,利用ANSYS 11.0软件对不同压电材料、不同形状以及不同尺寸的SCFBAF进行了一系列的仿真,得到其幅频特性曲线。将仿真结果进行分析之后,得出材料种类、形状及尺寸对SCFBAF的影响。供后续结构更加复杂的微机电薄膜体声波滤波器设计参考。第五部分,综述了SCFBAF各结构层制备工艺并设计了SCFBAF的制备流程。