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本课题的目的是在剃须刀片刃口上镀制一层硬质薄膜,以提高刀片的锋利度和使用舒适性,并对所镀制的硬质薄膜工艺参数、性能进行研究。本文首先对硬质薄膜的发展作了概述,着重综述了TiN复合镀层和纳米硬质薄膜的研究进展；在此基础上,选用双靶反应共溅射方法,在剃须刀片表面和刃口上沉积了(Ti, Nb) N薄膜。通过改变沉积温度和反应气体压强得到不同的样品,并对膜层的相结构和性能进行了分析和测试。为了使实验设备符合项目需要,我们对实验设备进行了改造,主要是加设双靶共溅射系统以及工件架系统。为了提供靶的设计理