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SmCo基稀土永磁材料是功能材料中的重要组成部分,由其制备而成的磁性器件,被大量应用于国防技术、航空航天、信息网络、自动化、微机电系统等多个领域。在SmCo薄膜的应用中,由于薄膜材料的形状各向异性难以克服,要得到可实用化、易磁化轴垂直面外的永磁薄膜来提供外场是部分磁性器件在薄膜化和片式化过程中一项瓶颈技术。本文针对SmCo基磁性薄膜的性能研究,制备了一系列SmCo薄膜,通过改变溅射功率密度、退火温度、退火方式、薄膜膜厚、添加不同元素缓冲层等方式,对薄膜的磁学性能进行了宏观调控,并通过振动样品磁强计(