全光网是适应中国国民经济信息化对未来通信网络的带宽容量需求的最佳方案.全光网的功率均衡是亟待解决的一项关键技术,其中大量采用了可变式光衰减器(Variable Optical Attenuator,以下简称VOA).针对上述需求、该文研究基于微细加工工艺、主要是集成电路工艺制作的可实现阵列拼接的MEMS(Micro-electro-mechanical-systems,微电子机械系统)可变光衰减器.该文首先简要介绍了应用于全光网的MEMS技术的研究现状.该文研究了现有的挡光片式光衰减器内部的衍射光学传播过程,基于对输入输出单模光纤内部传输基模的高斯近似,以及高斯光束的自由空间传播,挡光片上的Fresnel-Kirchoff衍射积分,以及输出光纤端面的衍射光束场分布和输出光纤内部的基模的交叠积分,建立了上述传播过程的理论计算模型,得到了与实验数据基本一致的结果.该文还进行了一种新型电磁驱动错位式微机械可变光衰减器的研究,首先介绍了器件的基本结构和工作原理;其次对器件的结构、电磁驱动、光学特性进行了分析;随后介绍器件的微细加工工艺及装配;最后对器件的性能进行了测试,结果表明,新型可变光衰减器的插入损耗小于1dB,动态范围约15dB,工作电压小于10V,有望为全光网提供一种低成本、高性能的光通信器件.