工件台系统是极紫外光刻(EUV)的一个关键子系统。极紫外光刻机采用步进扫描曝光方式,成像质量不仅取决于光学系统的质量,还取决于工件台的动态定位,因此工件台系统机械结构的动态性能和光学系统的质量同样重要。工件台的运行精度、速度、加速度以及动态定位是影响整机成像质量、套刻精度和产率的重要因素。因此在研发阶段对工件台系统的动态分析就显得尤为重要。通过分析国内外先进超精密工件台结构形式,对工件台关键技术进行了研究。分析了真空平衡型气浮支撑的工作原理,推导出数学模型,并进行了承载力及刚度分析;对工件台整体方案进行了分析,并对直线电机及气浮导轨结构形式进行了分析;针对微动平台微动特性,运用几何分析方法,对其进行了运动分析,以解释其微动补偿作用,并对微动台部分进行了结构设计。运用有限元分析软件ANSYS对工件台系统进行了静力分析,模态分析以及瞬态分析。通过静力分析找出工件台静力变形最大位置,为结构设计以及系统安装提供依据。对工件台整机进行了模态分析,找出结构设计的薄弱环节。由于承载微动台决定了系统最终定位精度,因此对承载微动台部分单独进行模态分析。运用瞬态分析方法对工件台动态特性进行了分析,分析其在不同阻尼下的动态响应。尝试将拓扑优化以及参数化建模技术引入结构设计之中。对承载微动台进行基于静态刚度以及动态刚度的拓扑优化分析。利用ANSYS中的APDL语言对承载微动台进行参数化建模及二次开发,将整个有限元分析过程参数化。对拓扑优化后模型进行灵敏度分析,运用ANSYS优化模块对其进行优化。最后对优化后承载微动台进行了静力分析、模态分析以及瞬态分析。