球面面形的高精度检测一直是光学测量领域的难题,目前我国尚未建立国家和国防最高计量标准。传统的干涉仪精度受限于标准球面镜头的精度,远远不能满足目前光刻镜头至少λ/1000的精度要求,而点衍射干涉仪利用小孔衍射产生出来的理想球面波作为参考波,可以实现对面形的绝对测量。为此,本文对不同类型点衍射干涉仪的优缺点进行了分析和总结,选取镀膜小孔点衍射干涉仪作为研究方向,并以其实验装置的搭建为核心展开研究。然后,分析了镀膜小孔点衍射干涉仪可能存在的误差和提出了相应的解决方案,通过白光轮廓仪测试了小孔衍射板的小孔直径、镀膜厚度等主要参数。提出了干涉仪实验装置的设计方案、对其中的关键组件进行了分析,最终完成了对干涉仪实验装置的搭建。在完成对对干涉仪的调试之后,对口径80mm,焦距300mm的凹球面镜进行了测量,得到了其干涉图。在镀膜小孔点衍射干涉仪实验装置的基础上,结合夏克哈特曼波前传感器和Zygo干涉仪对小孔衍射出来的球面波质量进行了测试,得到了小孔衍射球面波面形质量的量级数据,分析了其误差的产生和来源,并进行了展望。