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随着微制造技术的更新发展,MEMS系统已逐渐走入人们生活之中,在军事、航天、国防、工业、医疗、农业等领域被广泛应用。特别是在生物医学领域,微细加工技术被用于制造适用于处理生物细胞和生物大分子的各种装置。例如:微型泵,微型阀,微摄子,微沟槽,微器皿和微流量计等。用于微加工的数控机床,由于机床体积大,夹具繁重,难以获得较小的加工精度。相比之下,激光加工特别适用于微型加工,因为光束聚焦获得细小光斑的光学特性。激光微加工分为激光掩膜投影和激光直写刻蚀两种形式,直写刻蚀因其性能稳定、造价便宜等特点备受关注。宏