单片三轴微加速度计结构设计与加工工艺优化

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随着导航技术、制导技术等领域的发展,加速度计等惯性器件在军事民用等领域的应用愈加广泛。单片三轴微加速度计同时具备三个方向加速度的检测能力,并且相对于组合式三轴微加速度计具有更小的体积、更低的成本,从而迅速成为研究热点。本教研室微加速度计的研究经历四代的发展,在基本结构、封装方式、检测电路、数据处理等方面均进行了诸多设计,但总体性能依然不能满足要求。本文在前人研究的基础上进行了进一步优化,主要工作有:1.结构优化:包括加速度计总体尺寸的缩小、应力释放结构优化、新型玻璃-硅-玻璃三层结构设计与优化。2.
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