论文部分内容阅读
K0.5Na0.5NbO3作为一类重要的环境友好型的压电陶瓷材料,是无铅压电陶瓷材料的研究热点之一。电子元器件小型化及微电子机械系统(MEMS)的快速发展,推动了K0.5Na0.5NbO3膜材料的制备研究。本文研究了溶胶凝胶法制备(100)取向,粉末溶胶法制备(110)取向K0.5Na0.5NbO3厚膜。探讨了择优取向型K0.5Na0.5NbO3陶瓷厚膜的制备及其电学性能。厚膜制备前期准备工作,首先,利用草酸处理一次沉淀Nb(OH)5,再用氨水滴定得到二次沉淀高活性Nb(OH)5,解决高活