硅油液体基片在Ar等离子体中的稳定性研究

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薄膜材料和超细纳米颗粒材料由于独特的电、光、力性能,一直得到人们的高度关注。通常,人们采用各种固体表面作为沉积薄膜或纳米颗粒的基底,近年来使用聚合物软基底来沉积、生长各种薄膜或纳米颗粒,引起了人们极大的兴趣。例如,为了获得颗粒尺寸可控的、干净且没有副产品的纳米颗粒,人们采用低蒸汽压聚合物软基底表面来生长金属纳米颗粒。目前,硅油和离子液体被用作聚合物软基底,而在硅油或离子液体软基底上沉积的薄膜或纳米颗粒主要有Fe、Ag、Au等纳米颗粒和Fe薄膜。人们发现在软基底沉积薄膜或纳米颗粒时,会形成各种分形结构,例如Ag纳米颗粒的分形凝聚体和Fe的圆盘凝聚结构,由于不同的颗粒凝聚行为可能导致材料性能的差异,因此,控制颗粒凝聚行为对纳米颗粒的制备非常重要。目前人们将不同的凝聚行为主要归结为实验参数的差异,极少考虑软基底表面状态的影响。在液体表面,纳米颗粒的形成是粒子作二维随机迁移运动的结果,由于粒子二维随机迁移运动的均方位移<Δr2>为
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