氮气对DC-PCVD法制备金刚石膜的影响及金刚石膜的生长特性研究

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(100)面的金刚石膜与(111)、(110)面金刚石膜相比,具有光滑的表面、较低的应力、较高的热导率和较大的载流子收集距离等优点,研究(100)面的金刚石膜制备工艺对其在机械、热学、光学、电子学等领域的应用具有重要意义;N杂质对金刚石膜的生长特性的影响是本领域研究的热点,研究N杂质存在状态有利于改善金刚石膜的表面形貌、提高膜质量、降低应力等,并对进一步探索有效的N型掺杂半导体金刚石膜具有现实意义。为此,本文采用DC-PCVD方法制备了金刚石膜,优化了制备工艺。重点研究了N2流量对金刚石膜表面形貌、
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