论文部分内容阅读
本文对智能复合真空计进行了研究。本系统将用于低真空测量的ZJ-53B型热偶规和用于中真空测量的ZJ-10型电离规复合使用,并实现智能控制。该系统中使用的热偶规传感器具有明显的非线性,为提高测量精度,必须对其进行非线性校正。本文通过比较论证,选用了三次样条插值算法。通过对三次样条插值算法的分析和验证得知该方法用于热偶规的非线性校正是合适的,满足真空测量的一般精度要求,具有一定的推广应用价值。