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氟化镁(MgF2)作为一种传统的镀膜材料,在薄膜光学领域有着十分重要的地位与作用。氟化镁薄膜是所有低折射率的材料中最为牢固的薄膜,有着良好的光学性能和机械性能。本文对在MgF2中掺杂YF3 (CaF2)材料进行了光学性能和机械性能的研究。通过在K9玻璃上镀制单层增透膜,并对其透过率、激光干涉条纹、附着力、以及耐磨性进行了测试,得出了在MgF22中掺杂5%-10%的YF3材料可以有效的改善氟化镁薄膜的张应力,而且对于薄膜在可见光区的透过率也有所提高。同时还保持了薄膜良好的机械性能。在MgF