并联结构六维加速度传感器研究

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六维加速度传感器是航空航天、军事、机器人等特殊领域用于多维加速度检测和运动控制的关键元件。对新结构,高精度多维加速度传感器的研究是世界各国争先研究的传感器技术课题之一。本文针对并联结构六维加速度传感器的设计原理和核心问题进行了分析,介绍了借助并联机构理论进行并联结构六维加速度传感器弹性体的设计过程和方法。以6-SPS与6-RSS两种并联机构为原型,借助并联机构的理论建立了输入加速度矢量和输出信号之间的映射关系。从理论上验证了并联结构六维加速度传感器的可行性。根据并联机构的特征,结合一般传感器的性能指标,定义了并联结构六维加速度传感器的性能指标。建立了并联结构六维加速度传感器的各向同性、线加速度灵敏度和角加速度灵敏度等性能指标与结构参数的数学模型,并进行了相应的性能图谱分析,得到了并联结构六维加速度传感器的各个性能指标与结构参数之间的变化规律;同时研究了惯性质量块重心位置变化对传感器各个性能指标的影响。消除了在实际应用中不同坐标系下重力加速度对传感器输出信号的影响。详细介绍了在各向同性、线加速度灵敏度特性、角加速度灵敏度特性及传感器外型尺寸等多目标多约束条件下并联结构六维加速度传感器的设计方法和关键技术。
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