【摘 要】
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该论文使用PLD以及离子注入这两项较新的波导制备技术,在不同的衬底或材料上,制备出几种具有良好性能的介质波导结构.用多种分析方法,研究各种实验条件对波导性能的影响.该论
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该论文使用PLD以及离子注入这两项较新的波导制备技术,在不同的衬底或材料上,制备出几种具有良好性能的介质波导结构.用多种分析方法,研究各种实验条件对波导性能的影响.该论文主要内容如下:1.简要概述经典的光波导理论.2.简单叙述该论文所涉及的实验方法.3.应用PLD技术成功地制备出BaTiO<,3>/MgO薄膜波导结构.4.应用PLD技术分别在LiTaO<,3>、MgO、SiO<,2>等材料衬底制备出了LiNbO<,3>材料膜.5.首次应用PLD技术在MgO和SiO<,2>衬底材料上制备出了Nd:MgO:LiNbO<,3>薄膜波导结构.6.首次应用PLD技术在MgO和SiO<,2>衬底上制备了LiTaO<,3>波导膜.7.首次应用MeV H<+>离子注入的方法,以Z切的KTP上形成了波导结构,注入离子的能量为1.0MeV,注入剂量为2×10<16>ions/cm<2>,注入过程在室温下完成.应用棱镜(LiTaO<,3>)耦合的方法,在这样制备的波导上,观察到7条暗模.8.研究了400keV的Er、Nd和1000keV的Au离子注入Si<,1>N<,1.375>H<,0.603>材料的平均投影射程、射程离散和横向离散,离主入晶体引起的折身率发迹与注入离子的射程和它所产生的损伤分布有关.
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