近年来，随着大气污染的日益严重，对有毒有害气体的检测成为时下研究的热点。酞菁类(MPc)有机半导体气敏传感器由于具有能在常温下工作，低成本，精度高等优点，受到人们的关注。本论文主要是利用苯酐-尿素路线合成了酞菁铜，再根据其溶解性进行提纯。用真空镀膜的方法蒸镀敏感膜，随后进行热退火。经XRD分析表明提纯后其晶型为α晶型，而退火后转变为β晶型。通过红外光谱观察了酞菁铜分子的化学键吸收峰的位置，并用SEM和AFM观察了酞菁铜薄膜的表面形貌，发现呈小颗粒的形状。使用IntelliSuite6.3软件对叉指电极的制作工艺进行仿真，证明其可行性。制作出镀有酞菁铜薄膜的叉指电极。同时利用ANSYS10.0软件对电极间薄膜电阻的电场线及电流密度进行了分析。气敏测试的结果显示，酞菁铜薄膜对二氧化氮的选择性较高，响应速度较快，为3s，但是恢复时间较长，为35s，而且不能完全恢复。它对乙醇，甲醇，H2等响应较小，对丙酮，异丙醇没有响应。同时证明了酞菁铜吸收氧化性气体后电导变大，而吸收还原性气体后电导变小的理论。最后，还对酞菁的气敏机理进行探讨，指出了取代基，中心原子和掺杂情况等对气敏特性的影响。