Y型多针孔干涉仪及其在绝对位置坐标测量中的应用研究

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自Michelson干涉仪问世以来,光学干涉测量技术得到了飞速的发展,在距离测量中得到了广泛的应用。绝对距离测量是一种无导轨测量技术,它是指不需要在两测量点之间架设测量导轨即可测量两点间距离的方法。随着科学技术的发展,涉及高精度绝对距离或空间坐标测量的问题越来越多,传统的测量技术已经难以需要。这就促进了对绝对距离测量技术的研究,发展了许多新的绝对距离测量方法,如白光干涉测量法、多波长干涉测量法、外差干涉测量法、激光自混合干涉法等。绝对距离测量技术简化了测量仪器的结构和测量过程,避免了在测量时累加计数
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