作为一种典型微型光机电系统——微型光谱仪器，具有许多大型光谱仪器所不具备的优点，并有着广泛的应用范围。因此，微型光谱仪器的研制已成为微型光机电系统的一个重要研究热点。同时，为了实现微型光谱仪器的实用化，有必要研制与之相配套的信号采集和显示处理系统，提高整个系统的性价比。 本论文以北京卓立汉光仪器有限公司定制的60mm焦距光谱仪分光系统为基础，以近红外光谱仪的接收系统为研究对象，主要完成微型光谱仪的集成，其中包括探测元件InGaAs探测器阵列的研制以及基于单片机系统的光谱信号采集和显示电路等。总体来看，本论文的研究工作主要集中在以下几个方面： 1.优化单项工艺条件，为制作探测器阵列提供基础。研究Si3N4扩散掩蔽层的制备和腐蚀条件，并分析S13N4腐蚀速率与其生长条件的关系；研究闭管Zn扩散制作P型区，优化扩散温度和扩散时间；研究测量扩散结深度的方法；掌握制备探测器阵列时关键的扩散工艺。 2.完成探测元件InGaAs探测器阵列的研制，制作出32×1元阵列。测量探测器的I-V特性，搭建光谱响应度测量平台并测量探测器的光谱响应特性。 3.根据微型光谱仪输出电信号的特点，深入研究了基本检测电路。分析了基本检测电路的原理和噪声特性。接着根据后续信号采集的需要我们对基本检测电路进行了改进。 4.结合信号采集的相关理论，设计了光谱信号采集和显示的单片机系统；并编写了相应的程序，以实现对光谱信号的采集和显示。并将分光测量结果与单个单元测量结果进行对比，完成设计要求。