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氟掺杂二氧化锡导电薄膜(fluorine-doped tin oxide,FTO)因具有高透光率和低电阻被广泛用于太阳能电池和显示设备。采用喷雾热解法,以四氯化锡和氟化铵、1-甲基-3-乙基咪唑三氟乙酸(3-ethyl-1-methylimidazolium trifluoroacetate, EMITA)为原料、水和乙醇、异丙醇为溶剂,喷瓶为雾化装置,在载玻片上制备FTO薄膜。运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪分别对FTO薄膜进行了表征。研究了喷涂次数、衬底温度、