【摘 要】
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MEMS谐振器大量应用在实时时钟、参考振荡器及滤波器/混合器等前端无线收发部分，是滤波器及双工器、振荡器中的主要构件。本文提出一种静电激励可调谐微谐振器，在横向施加谐振激励电压基础上，轴向加载，实现频率两级可调。论文主要包括以下内容：1.提出一种可调谐微谐振器结构模型，通过改变拉伸量与调节电压实现频率调节，并根据设计要求确定微梁的结构形式与尺寸。推导出微谐振器的动力学方程，用MATLAB软件进行幅
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MEMS谐振器大量应用在实时时钟、参考振荡器及滤波器/混合器等前端无线收发部分，是滤波器及双工器、振荡器中的主要构件。本文提出一种静电激励可调谐微谐振器，在横向施加谐振激励电压基础上，轴向加载，实现频率两级可调。论文主要包括以下内容：1.提出一种可调谐微谐振器结构模型，通过改变拉伸量与调节电压实现频率调节，并根据设计要求确定微梁的结构形式与尺寸。推导出微谐振器的动力学方程，用MATLAB软件进行幅频响应仿真，得出不同拉伸量及不同调节电压分别对应的幅频响应曲线，得出拉伸量与调节电压的调
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