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近年来,随着微电子、超精密加工等高新技术的迅速发展,对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度的要求,为了保证纳米位移测量仪器高测量精度的实施,就要同步地监测整个仪器测量过程的准直状况,减少或消除不必要的误差。本论文依托于“激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制”国家自然科学基金项目(No.50827501),对激光合成波长纳米位移测量干涉仪的准直方法进行了研究,提出了采用四象限探测器实现激光合成波长干涉仪的准直方法。论文描述了激光合成波长纳米位移测量干涉仪的准直方