超精密机床数控系统及伺服控制技术的研究

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该文对超精密机床数控系统的硬件和软件结构进行了研究,并给出了设计实例,其中,硬件采用了工控PC+NC模块组成的主从式、多CPU结构. 数控系统的系统软件主要完成数控编程、机床调整、加工控制、和机床故障分析等功能.系统采用了中断方式来保证各功能模块的协调运行.该系统是国内首台精密机床专用数控系统.非球面光学反射镜的车削加工是超精密机床的一个重要应用领域.该文对非圆曲线的插补算法进行了研究,提出了一种新的基于光学通用的方程的非圆曲线数控插补算法.该文提出了一种基于PC总线的伺服控制系统的模块化设计方案,主控制和接口电路采用标准板卡.在对超精密机床伺股系统特性进行实验分析的基础上,该文建立了伺服系统的数学模型,分析了它的可控性和可观测性,并提出了一种线性二次型最优伺服控制器的设计方案,该控制器具有摩擦补偿作用.该文提出了一种新的、更加适合于实时控制的轮廓误差模型,并首次提出了一种基于智能模糊控制理论的超精密机床交叉耦合轮廓控制器.实验结果表明,模糊交叉耦合轮廓控制器与轴向伺服控制器相结合可以有效地提高系统的轮廓控制精度.
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