【摘 要】
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该论文采用脉冲激光沉积法在(100)SrTiO(STO)单晶基片上沉积LaCaMnO(LCMO)超大磁电阻(CMR)薄膜.论文系统地研究了沉积温度、退火温度、薄膜厚度等工艺因素对LCMO薄膜外延结构
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该论文采用脉冲激光沉积法在(100)SrTiO<,3>(STO)单晶基片上沉积La<,x>Ca<,1-x>MnO<,3>(LCMO)超大磁电阻(CMR)薄膜.论文系统地研究了沉积温度、退火温度、薄膜厚度等工艺因素对LCMO薄膜外延结构、表面形貌的影响;制备了表面具有自发生成的有序微裂纹结构、纳米颗粒结构的LCMO薄膜;详细地讨论了LCMO薄膜在STO基片上的生长机理.
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