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该论文对周期热流法测量薄膜热扩散率、体积比热容的原理及实验技术作了深入的研究.测量分析了金刚石膜等薄膜材料的热物理性质,开发一系列的实验和计算软件.
周期热流法测量热物性的原理及实验技术研究
【摘 要】
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该论文对周期热流法测量薄膜热扩散率、体积比热容的原理及实验技术作了深入的研究.测量分析了金刚石膜等薄膜材料的热物理性质,开发一系列的实验和计算软件.
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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清华大学
【发表日期】
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1997年期
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