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集成电感作为射频集成电路的核心元件之一,目前已广泛应用到射频模块中。随着深亚微米技术的发展和工作频率的提高,由于传统硅基螺旋电感的高频反射参数不稳定、电磁辐射方向性差等高频电磁场问题导致设计手册中电感高频参数缺失。另外,传统硅基螺旋电感的品质因数小、电感值小、电磁辐射大、损耗大等问题成为后端设计的瓶颈,制约着集成电路的发展。针对以上问题,本论文首先采用有限元法对传统硅基螺旋电感进行了有限元建模和高频电磁仿真,得到了传统硅基螺旋电感的高频电磁特性,弥补了传统设计手册中电感高频参数缺失的问题。其次,在传