近些年来,由微电子技术（半导体制造技术）发展而来的微机电系统（MEMS,MicroElectro-Mechanical System）逐步成为了各国争相研究的热点,以MEMS技术为基础研制的微惯性导航系统已广泛应用于军用及民用领域的各个方面。其中,MEMS陀螺仪作为微惯性导航系统中的核心器件,其性能直接决定着微惯性导航系统的整体性能,高精度的MEMS陀螺仪是火炮、鱼雷、精确制导导弹等高精尖武器不可或缺的一部分。由于工艺水平的限制,在陀螺仪加工过程中的结构加工误差所导致的正交误差是使陀螺仪性能下降的主要因素,因此,对正交误差进行校正是提升陀螺仪性能的重要手段,通过正交误差校正来研制高精度的MEMS陀螺仪,对我国国防科技水平的提升具有重要意义。本文以课题组研制的S梁硅基MEMS环形陀螺仪为研究对象,对正交误差校正技术进行研究并设计了相应的正交误差校正系统进行测试,主要的工作及创新点如下:文章首先对MEMS陀螺仪和正交校正技术的研究现状进行阐述;然后介绍了本文研究的MEMS环形陀螺仪的结构及工作原理;接着建立了基于AGC的闭环驱动和开环检测的控制方案;而后对环形陀螺仪正交误差的产生原因、输出信号及校正原理进行分析,设计了基于正交力校正法的环形陀螺仪正交误差校正系统,并对校正系统模型进行仿真;最后对环形陀螺仪正交误差校正前后的各项性能参数进行实验测试。测试数据显示正交误差校正后环形陀螺仪的检测位移信号幅值从272m V降低到88m V,正交误差几乎完全消除;标度因数从10.23 m V/°/s变化为10.15 m V/°/s,基本没有变化;零偏及零偏稳定性从-10.52°/s和15.89°/h变化为-2.62°/s和1.37°/h,分别提升了约3.0倍和10.6倍。实验结果达到了预期,说明了本文设计的正交误差校正系统对环形陀螺仪的性能有很大的提升作用。