【摘 要】
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椭偏测量技术是利用光束在薄膜上反射和透射时出现的偏振变化,通过椭偏仪测量其椭偏参数的变化,用计算机处理由测量得到的椭偏参数从而反演得到待测薄膜的各种光学参数.该论
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椭偏测量技术是利用光束在薄膜上反射和透射时出现的偏振变化,通过椭偏仪测量其椭偏参数的变化,用计算机处理由测量得到的椭偏参数从而反演得到待测薄膜的各种光学参数.该论文的主要工作包括:结合光栅的矢量衍射理论和薄膜的椭偏理论,详细分析了光栅的椭偏特性;并且根据一些椭偏特性设计出一款正入射反射型单波长1/4波片;在光栅参数的椭偏反演中,引入正单纯形法作为反演算法,分别以各向同性的正弦形金属光栅和各向异性的阶梯型光栅为例,在标准椭偏值的基础上加入不同偏差的高斯噪声来模拟实际的椭偏测量值进行反演,在一定精度范围内得出满意的光栅参数,说明光栅参数的椭偏测量是可行的;还就入射角的选取问题进行了一定的探讨.
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