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随着光纤传感技术的发展和应用领域的不断拓宽,对传感器的要求越来越趋向于微型化。在某些环境恶劣,如具有强电磁干扰和腐蚀性,或提供给传感器的安装空间非常有限的特殊工业领域,微型光纤压力传感器发挥着重要的作用。在生物医学诊断领域,可侵入体内的微型压力传感测量技术在疾病诊断和手术中体压的监测是必需的。膜片式微型光纤F-P传感器以其结构简单、体积微小、抗电磁干扰、稳定性好、精度高等优点能很好的满足上述应用需求。本文的主要工作是针对上述应用需求研制膜片式微型法布里-珀罗干涉(Extrinsic Fabry-Perot Interferometric,EFPI)光纤压力传感器。本文对基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪原理的膜片式微型光纤压力传感器进行了理论分析和实验研究,确立了膜片式微型光纤压力传感器的设计方案:在单模光纤上直接熔接外径约175um的毛细石英管,在石英管的另一端制作敏感膜片,光纤端面与膜片内表面之间形成F-P干涉腔,整个传感头外径只有175um。本文用电弧熔接、切割、腐蚀膜片的方法制作了石英膜片式压力传感器并利用白光干涉波长解调的方法对其压力传感特性及温度敏感特性进行了实验研究。实验证明,此传感器性能良好,在室温下,在0.1-3.1MPa压强范围内F-P腔的腔长变化灵敏度为41.nm/MPa,线性度0.99998,测量分辨率681Pa,且温度敏感性很小,标准大气压下,在30-140℃的温度范围内,温度交差敏感小于1.07KPa/℃。为了克服石英膜片减薄困难,灵敏度难于进一步提高的缺点,对有机膜片式光纤传感器进行了实验研究,选用聚合物材料——低聚倍半硅氧烷(PSQ)作为压力敏感膜片制作了F-P传感器,并在室温条件下进行了液压标定实验。实验表明,在0.1-2.1MPa压强范围内F-P腔长变化灵敏度为1886.85nm/MPa,线性度为0.9998,测量分辨率53Pa。这种有机膜片式微型光纤压力传感器的灵敏度和分辨率已经十分接近人类和其他动物的体压测量需求水平,进一步优化处理后将能够满足生物医疗领域对患者血压、心肺压等的植入式监测需求,及微型低压工业环境的的应用需求。