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固结磨料研抛软脆材料的低损伤加工机理
【摘 要】
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氟化钙、铌酸锂等软脆材料具有优异的光学、力学、物化等材料性能,广泛运用于航空航天、光学系统、半导体、能源以及军事等领域,上述应用对软脆材料的加工提出了高效、低损伤的苛刻要求。传统加工方法因其自身的局限,已经不能满足当前对软脆材料高精度加工的需要。本文基于亲水性固结磨料垫(Fixed Abrasive Pad,FAP)研磨的优点,主要研究亲水性FAP研磨软脆工件的低损伤加工机理,建立了磨粒从研磨垫表
【出 处】
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南京航空航天大学
【发表日期】
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2020年01期
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