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软磁材料已经被广泛地应用于磁数据存储(如硬盘驱动器(HDD))、微电子机械系统的发动机以及其它的磁感应器。目前,制备软磁薄膜的方法有许多种,其中,电化学方法由于在工业生产中可以很好地调控镀层的组成、结构及性能并形成高比表面积的薄膜,而成为最具发展前景的技术之一。CoNiFe软磁薄膜具有较高饱和磁感强度B_s和较低的矫顽力H_c,必将在微电子机械系统的应用中成为其它软磁材料的最有力的竞争者。在本论文中,我们拟采用循环伏安法(CV)制备兼具优良软磁性能(包括高B_s和低H_c)和耐蚀性能的纳