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作为一种典型的铁电材料,钛酸锶钡(BST)在顺电相下具有较高的介电可调率以及较低的介电损耗,被广泛应用于各种压控微波器件,特别是移相器的设计和开发当中。相比于体材料,BST厚膜具有适中的介电常数以及更低的驱动电压;相比于薄膜材料,厚膜材料具有更好的介电性能。与现有的各种工艺相比,丝网印刷法是一种成本低廉,工艺简单的厚膜制备工艺。随着电子元器件的微型化、集成化以及多功能化,低温共烧技术(LTCC)得到了快速的发展,该技术要求电子材料能与Ag等金属电极共烧,而BST厚膜的烧结温度太高,一般在1200℃以上,本文的研究目标是将BST厚膜的烧结温度降低到银的熔点以下。本文采用丝网印刷工艺,在Al2O3陶瓷衬底上,通过B2O3-Li2O掺杂低温液相烧结制备了Ba0.6Sr0.4TiO3厚膜材料,系统研究了B2O3-Li2O含量对厚膜样品微观结构、物相成分及介电性能的影响。结果表明:B2O3-Li2O掺杂量的增加,使BST厚膜的烧结温度递减,材料的晶粒尺寸及室温下的介电常数明显变小。当总掺杂量为4.5wt%,BST厚膜可在900℃下低温烧结,在20℃和10kHz频率下测得其介电常数为312,介电损耗为0.0039,在3kV/mm偏场下的可调率可达16.2%。采用Ansoft HFSS软件对BST厚膜移相段共面波导进行了结构和性能的综合模拟,并根据模拟分析结果对BST厚膜共面波导结构进行优化。结果表明:影响移相器性能的主要因素是BST厚膜的介电性能,适当减小厚膜的介电常数,降低介电损耗能明显提高介电调谐率是提高移相器性能。设计的移相段共面波导结构的最佳尺寸为:厚膜厚度h=80μm,中心导带宽度w=0.6mm,间隙距离g=0.25mm,电极厚度t=5μm。在上述条件下,BST共面波导结构的移相优值为264.5°/dB。