【摘 要】
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本文系统地论述了脉冲准分子激光沉积技术的原理和现状，采用脉冲准分子激光气相沉积技术制备了单分散性的Co纳米颗粒薄膜和嵌埋Co颗粒的BaTiO_3纳米复合薄膜；初步研究了不同背景气压和脉冲频率对钴纳米薄膜表面形貌的影响及单分散性Co纳米颗粒膜的生长机理，研究了嵌埋Co纳米颗粒的BaTiO_3纳米复合薄膜的制备及结构。论文工作的主要内容和结论为： 1．系统地论述了脉冲激光气相沉积薄膜技术的原理、
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本文系统地论述了脉冲准分子激光沉积技术的原理和现状，采用脉冲准分子激光气相沉积技术制备了单分散性的Co纳米颗粒薄膜和嵌埋Co颗粒的BaTiO_3纳米复合薄膜；初步研究了不同背景气压和脉冲频率对钴纳米薄膜表面形貌的影响及单分散性Co纳米颗粒膜的生长机理，研究了嵌埋Co纳米颗粒的BaTiO_3纳米复合薄膜的制备及结构。论文工作的主要内容和结论为： 1．系统地论述了脉冲激光气相沉积薄膜技术的原理、特点和这一研究领域的研究现状，着重介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的研究动态和进展情况。
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