随着光电子检测技术的快速发展,光学元件需求量日渐攀升,光学元件良好的质量保证了光学系统正常运作。由于生产工艺等原因造成元件表面的损伤,将严重影响表面质量,造成光的散射影响光路,最终造成测量误差。目前工业上需要对高反射率光滑表面划痕深度进行定量测量,基于此,本论文研究内容主要有:1.不连续区域误差机理及影响因素研究针对划痕反射率、几何不连续,构建不连续区域误差模型。相位偏折术在不连续附近区域产生的相位误差,将严重影响测量精度。本论文从系统点扩散函数及离焦特点出发,分析了误差产生机理,推导了解调相位表达式,仿真、实验得到:不连续区域误差与点扩散函数方差、反射率差值成正比,与条纹周期成反比。2.相位测量偏折术的不连续区域误差补偿方法针对相位测量偏折术中解调相位的各向异性,提出了一种基于参数优化的不连续区域误差补偿方法。实验对比了参数优化组与未优化组,参数优化后的不连续区域相位均方根误差（RMSE）降低了6倍,全局高度RMSE降低了2.42倍。3.划痕检测实验研究针对自然光下高反光滑表面与划痕对比度低的问题,采用了调制度提取算法,并对比不同边缘提取算子性能,实验表明Canny算子提取划痕轮廓,效果最佳。进一步介绍划痕长度、宽度、深度测量原理,划痕长度平均测量误差为4.16%,宽度测量误差为13.4%,最小深度测量误差为14.5%。