随着有源天线朝着高频段、高密度的方向发展,工艺缺陷和结构参数对天线系统电性能的影响日益凸显,如何合理地确定制造工艺参数以提高其性能成为一个亟待解决的问题,为此本文研究了制造缺陷和工艺参数的反演分析方法。首先,本文研究了基于学习回归反演和基于优化辨识的反演方法,并综合分析了两类反演方法的优缺点,为有源天线的制造缺陷和工艺参数的反演分析奠定了基础。其次,研究了高密度有源天线垂直互连结构中,层间错位对其电性能的影响机理。在此基础上,基于学习回归的反演思想,建立了垂直互连结构电性能到其层间错位量的反演模型,并设计了实验样件对上述模型进行了验证,结果表明:反演模型对实验数据的预测相对误差在15%以内,从而验证了反演模型的准确性。最后,针对高密度有源天线收发电路电磁仿真模型难以建立的问题,提出了一种基于优化辨识反演思想的电路等效辐射模型建立方法。并以3.25GHz数字微波通道收发电路为例,建立了其等效辐射模型,并与原电路辐射模型的辐射场进行了对比分析,结果表明:两个模型的近场相对误差在5%以内,而两个模型在电路板上方的远场接近重合,从而验证了该反演方法的有效性。