微型薄膜气体传感器研究

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【摘要】

：

为了检测空气中特定气体的浓度,以满足不同工业环境的要求,本文在国家重点基础研究(973计划)项目“高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法”(课题编号:2003CB716200)的资助下,对气体传感器的检测原理、设计方法、制作工艺、封装技术进行了研究。具体研究了真空蒸发技术制备高灵敏度的乙醇气体敏感膜的方法,最后成功研制出微型乙醇气体传感器。本文首先介绍了气体传感器包括半导体式、烧结式、

【作者】

：

王聪

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2005年03期

【关键词】

：

MEMS技术气体传感器敏感薄膜

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