随着通信技术的迅速发展,射频器件在微波领域的应用越来越广泛。其中,滤波器作为不可或缺的关键器件,对整个通信系统性能的提升起着决定性作用。利用互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺加工而成的微波滤波器存在着射频性能差、可靠性低和损耗过大等缺点,限制了整个系统的发展。而利用射频微机电系统(RF MEMS)技术设计加工而成的微波器件具有损耗低、频带宽、隔离度高、体积小以及易于实现集成化与微型化等优势,受到了国内外众多研究学者的广泛关注。由于共面波导的中心导带和两侧的接地面位于同一平面上,易于实现电路单片集成,使其在现代平面微波系统中备受关注。利用MEMS技术在共面波导传输线上加工而成的RF MEMS可调滤波器,不仅具有良好的射频性能,而且可以较大幅度减小系统的体积、复杂度、功耗和重量等。RFMEMS可调滤波器对改善现代和未来的通信系统的性能都起着举足轻重的作用。本文重点对RF MEMS可调带阻滤波器的结构设计进行研究。本文则通过在共面波导传输线上利用谐振器和RF MEMS开关的组合,进而实现Ku波段模拟RF MEMS可调带阻滤波器的设计：首先在共面波导地上蚀刻出缺陷地结构,实现基本谐振单元；然后在缺陷地结构上加入特殊设计的RF MEMS开关,通过控制开关高度变化来调节谐振单元的频率；最后通过可调谐振单元的级联,实现了滤波器性能的优化,有效地解决当前滤波器带宽不足和回波损耗过大等问题。文章最后简要介绍了RF MEMS关键工艺,并给出了可调带阻滤波器的加工步骤。