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该文根据热力学和动力学分析,以TiCL<,2>+O<,2>为体系,使用高频等离子体化学气相淀积法;制备TiO<,2>超细粉的成核温度范围为1500~1836K .
高频等离子体化学气相淀积法TiO<,2>超细粉的制备及实验装置研究
【摘 要】
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该文根据热力学和动力学分析,以TiCL+O为体系,使用高频等离子体化学气相淀积法;制备TiO超细粉的成核温度范围为1500~1836K .
【机 构】
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太原理工大学
【出 处】
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太原理工大学
【发表日期】
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2001年期
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