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随着现代科学技术的发展,功能薄膜材料的开发和研制逐渐成为人们研究的热点。近几十年来成功研制出了许多种功能薄膜材料,其中Co/BaTiO_3纳米复合薄膜和Fe-Al金属间化合物薄膜是这些新型功能材料中的两种。Co/BaTiO_3纳米复合薄膜是一种独特的复合体系,其具有独特的光学性质和磁性质,在电子器件和光学材料方面有着广泛的应用前景。Fe-Al金属间化合物薄膜是惯性约束聚变(ICF)实验研究用靶的主要靶型,又由于其好的抗氧化性及磁光特性,在集成电路、磁存储材料方面有着很好的应用前景。但是对上述两种薄膜