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镓掺杂氧化锌(GZO)薄膜以其优异的光电特性,低廉的生产成本及充足的原料储备等特点被广泛地应用于low-E玻璃,薄膜太阳能电池,智能窗户等领域。同时,GZO氧化物薄膜作为一种新型近红外等离子体超材料有望取代常规金属超材料应用于近红外光电器件。本论文围绕GZO薄膜光电特性的可控调节,系统开展了GZO薄膜载流子浓度调控、高电导GZO柔性薄膜的制备、GZO柔性薄膜雾度调控、以及GZO薄膜近红外等离子体波长调控的研究,主要研究成果包括:1.通过磁控溅射镀膜结合RTA后处理方法在玻璃衬底上制备超薄GZO/Zn