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随着微电子技术的日趋成熟，微机械加工、封装技术的不断发展，MEMS传感器在体积、质量、功耗、精度等各方面的性能都有了质的改善，集成度的提高使得各种微型惯性表头在军用及民用方面应用十分广泛，尤其是硅加速度计及硅微陀螺是国内外研究的热点。本文针对液浮转子式微陀螺提出了合适的差分结构微弱电容信号检测方案，并对此种结构中存在的两相流或多相流系统进行研究，分析两相流系统对电容检测的影响。论文主要包括两大方面，一是差分结构微弱电容信号的检测电路设计，二是对液浮转子式微陀螺中的两相流系统问题进行分析。