针对目前国内多晶硅行业内日益突出的氯硅烷低沸物富集问题，本文在充分调研国内外文献资料基础上，改进原有工艺，利用氯硅烷反歧化反应精馏处理多晶硅生产中产生的氯硅烷低沸物。通过流程模拟计算、设计和工业化应用，达到了理想的效果。本研究从催化剂的对比、优选和预处理工艺着手，从五种催化剂中选取出一种可靠性高、性能优良且价格合理的催化剂。以国内某多晶硅企业的实际需求为目标，在流程模拟计算的基础上，设计了整套工艺，并将利旧设备改造利用，成功工业化运行，操作稳定且DCS转化率超过98.5%，达到预想效果。在已有模拟计算和工业生产数据的基础上，讨论相关设计和操作参数对工艺的影响，包括捆扎包单板持液量、反应段理论板数、精馏段提馏段理论板数、STC和DCS进料位置、STC循环量和STC循环温度。通过分析，当DCS处理量为300kg/h时，确定最优操作条件为捆扎包单板持液量100L，反应段理论板数8块，精馏段提馏段理论板数均12块，STC位于反应段上部进料，DCS位于反应段下部进料，STC循环量控制在4000-8000kg/h，STC循环温度为30℃。在此条件下可以达到节能高效的生产效果。氯硅烷反歧化反应精馏工艺仍存在一定缺陷。本研究考虑将反应精馏与隔板精馏相结合，进一步优化工艺。通过对氯化亚砜物系隔板精馏提纯案例的分析，初步掌握隔板精馏塔的设计思路，在此基础上对氯硅烷反歧化隔板反应精馏塔进行了模拟计算，效果良好，可指导后续的改进工作。